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光氧凈化器利用高臭氧UV紫外線光束分解空氣中的氧分子產生游離氧，即活性氧，因游離氧所攜正負電子不平衡所以需與氧分子結合，進而產生臭氧。

光氧凈化器主要用作于食品、化工、污水、垃圾、塑膠、噴涂、造紙、輪胎等生產環節揮發或滲漏出廢氣的凈化及臭味的。

等離子光氧廢氣處理器是繼固體、氣體、液體三態后，列為物質的第四態，由正離子、負離子、電子和中性離子組成，因體系中正負電荷總數相等，故稱為“等離子體”。

等離子光氧一體機具有無需添加任何物質，適應性強，運行成本低，無需預處理等優勢的一款產品，用于煉油廠橡膠廠、化工廠、制藥廠、污水處理廠、垃圾轉運站等惡臭氣體的脫臭凈化處理。

低溫等離子廢氣凈化器對氣態污染物的降解機理其實是這樣的，有足夠的能量來產生自由基，引發一系列復雜的物理、化學反應。